我们为半导体工业提供的设备：
大宗气体供应设备
应用于半导体工业的气罐和现场制气设备。
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特殊气体供应设备
半导体、TFT/LCD液晶显示器和光电产品的生产过程中，需要使用很多特殊气体（ESG＝电子特殊气体）。我们可以为您提供完整的特殊气体供应方案。
化学供应系统
液化空气公司提供的化学供应系统，可以为几乎所有的湿式应用设备的整个生命周期提供保障。
尾气处理系统
利用我们的Green fab（绿色厂房）尾气处理系统，您可以对加工过程中的残余气体进行净化处理，以避免对环境造成污染。
相关设施
除了高纯气体和化学品的供应，我们还为您提供了所有必要的相关设施及其安装服务。
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