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为满足半导体制造企业的需求，液化空气集团1990年在上海漕河泾开发区建立了液化空气上海有限公司并开始其业务。除了电子客户的载气业务，液化空气集团还在电子特种气体、特气气柜以及管道配置系统集成方面扮演着相当重要的角色。而且， 法液空还将在张家港投资建造一个特气制造中心, 充装电子气体。

我们在中国的主要客户包括先进半导体、海力士-意法半导体有限公司上海贝岭、宏力半导体、绍兴华越、首钢日电、 武汉中芯国际以及京东方等。

 

法液空的4项主要电子气业务：

大宗气体供应及现场制气装置

- 载气 (氮气、氧气、氢气等)

- 气体的在线分析测试服务

电子特种气体的供应

- 各种高纯载气与混合气

- 激态原子激光气 - KrF, CrF

电子项目的工程实现

- 超高纯管道及设备的安装

- 设计、生产和安装化学品输送系统以及流体输送装备

全面的气体与化学品管理服务