气体 [ 回到光伏 ]

在光伏领域中，液化空气根据您对纯度的需求，通过多种供应模式，为其每一步的生产工艺提供所需求的载气(H₂, N₂,O₂, Ar, He...) 以及特种气体(NH₃, SiH₄...) 。

乙硼烷

应用：在离子植入中用作硼源（P掺杂）、用于外延生长
容器：气瓶

二乙基锌

应用：形成透明导电层

容器：

氦气

应用：用于冷却
容器：10L,47L,50L,管道供应

甲烷

应用：掺杂气体
容器：47L,50L

三氟化氮

应用：炉室清洗
容器：10L,44L,47L,集装格,TT,ISO

氧气

应用：炉室清洗
容器：47L,管道供应

磷烷

应用：掺杂气体

容器：47L

硅烷

应用：在外延生长技术中用作硅源、用于低温二氧化硅CVD、用于氮化硅CVD
容器：47L,50L,440L,集装格(16气瓶,28气瓶),ISO(20英寸，8管)

四氟甲烷

应用：以纯四氟甲烷或者和氧气混合的方式，用于在CVD过程之前，对二氧化硅、氮化硅、多晶硅和一些硅－金属化合物进行的等离子刻蚀
容器：47L,50L

三甲基硼

应用：掺杂气体
容器：49L

光伏